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产品服务
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IC

半导体用Mask

在半导体领域，公司半导体掩膜版已全面应用于集成电路（IC）、半导体器件、先进封装等领域；通过对路芯半导体的投资，公司半导体掩膜版已布局至40nm制程节点，未来预计将进一步延伸至28nm节点。
量产节点：500-40nm(后期可覆盖至28nm)。
PRODUCT PARAMETERS

产品参数

MASK SIZE METERIAL MIN L/S
3006 Soda 2um
4009 Quartz&Soda 1um
5009 Quartz&Soda 1um
6009 Quartz&Soda 1um
6012 Quartz&Soda 1um
6025 Quartz 0.5um
7009 Quartz&Soda 1um
9012 Quartz&Soda 1um
14inch Quartz&Soda 1um

PRODUCT ACCURACY

产品精度

Item Grade S R O N M L K J I H G F E D C B A
CD Tolerance Tolerance for single point(±nm) ---- ---- ---- ---- ---- ---- ---- ---- ---- ---- ---- 50 70 100 120 150 200
CD mean to target (±nm) 4 4 7 8 10 12 15 20 25 30 40 ---- ---- ---- ---- ---- ----
CD Range (nm) 5 5 8 10 12 15 20 25 30 40 40 50 70 100 120 150 200
Registration & overlay Based on the 1st layer(±nm) 11 11 14 16 18 20 25 30 40 50 70 80 100 120 150 250 300
Defect Defect size(nm) 50 72 100 120 120 150 150 200 200 250 250 300 350 350 500 1000 1500
Particle Pellicle Film ≥30um 0 0 0 0 0 0 N0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
10-30um ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10
on Chrome
(not movable)		 ≥2.0um 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs
1.0-2.0um 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 0 pcs 5 pcs 5 pcs 5 pcs 5 pcs 5 pcs 5 pcs
0.5-1.0um 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs 10pcs ---- ---- ---- ---- ----
KrF PSM Transparency Tolerance(PSM) 6±0.3 6±0.3 6±0.3 6±0.3 6±0.3 6±0.3 6±0.3 6±0.5 6±0.5 6±0.5 6±0.5 ---- ---- ---- ---- ---- ----
Phase Angle (degree) Tolerance(PSM) 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° ---- ---- ---- ---- ---- ----
ArF PSM Transparency Tolerance(PSM) 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.3 6.3±0.5 6.3±0.5 6.3±0.5 6.3±0.5 ---- ---- ---- ---- ---- ----
Phase Angle (degree) Tolerance(PSM) 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° 180±3° ---- ---- ---- ---- ---- ----
Remark 　 　 14-28nm 28nm 40nm 45nm 65nm 90nm 0.13um 0.15um 0.16um 0.18um 0.2um 0.25um 0.35um 0.5um 0.8um 1um ≥1um

APPLICATION AREAS

主要应用领域

  • 集成电路（IC）：MCU、CIS、DDIC、PMIC等；
  • 先进封装：TSV、TGV、CPO、FOPLP、COF、FC、BGA等；
  • 半导体器件：分立器件、MEMS、化合物半导体、功率半导体等；
  • 泛半导体显示：Micro-LED、Micro-OLED、LCOS等。
主要应用领域