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产品服务
NEWWAY
TFT

显示用Mask

在显示领域，公司显示掩膜版已实现全世代覆盖（G2.5-G11）、全显示技术覆盖（LCD、AMOLED、LTPS、LTPO、Mini-LED、Micro-LED、硅基 OLED、FMM 用掩膜版等）。
PRODUCT PARAMETERS

产品参数

TFT ARRAY mask规格 TFT CF mask规格
330×450×5 450×550×5.0
520×610×10.0 508×609.6×5.0
520×800×10.0 700×800×8.0
800×920×10.0 800×920×8.0/10.0
800×945×10.0 800×960×8.0/10.0
850×1200×10.0 850×1200×10.0
980×1150×13.0 850×1400×10.0
980×1550×10.0 1220×1400×13.0
1220×1400×13.0 1220×1650×15.0
1620×1780×17.0 1620×1780×17.0

PRODUCT ACCURACY

产品精度

a-Si TFT Mask Spec TFT Array Color Filter
Normal  High Spec HTM Normal HTM PSM
CD Tolerance ±0.2um ±0.1um ±0.15um ±0.3um ±0.3um ±0.15um
Range ≤0.25um ≤0.1um ≤0.2um ≤0.35um ≤0.35um ≤0.2um
Registration P/A ±0.5um ±0.3um ±0.5um ±0.5um ±0.5um ±0.5um
0/A ±0.5um ±0.3um ±0.5um ±0.5um ±0.5um ±0.5um
T/P ±0.5um ±0.3um ±0.4um ±0.5um ±0.5um ±0.5um


LTPS/LTPO/AMOLED Mask Spec Mask Grade Grade 1 Grade 2 Grade 3 Grade 4
Line/Space(Min.width) 3.0um≤ Typ. 2.5um≤ Typ. 2.0um≤ Typ. 1.5um≤ Typ.
CD Tolerance ±0.35um ±0.2um ±0.1um ±0.08um
Range ≤0.35um ≤0.2um ≤0.1um ≤0.08um
Registration Position Accuracy ±0.5um ±0.4um ±0.3um ±0.25um
Total Pitch ±0.5um ±0.4um ±0.4um ±0.3um
Overlay Accuracy ±0.4um ±0.35um ±0.35um ±0.3um

APPLICATION AREAS

主要应用领域

  • 有源矩阵有机发光二极管显示器（AMOLED）制造；
  • 低温多晶硅氧化物有机发光二极管显示器（LTPO-OLED）制造；
  • 低温多晶硅液晶显示器（LTPS-LCD）制造；
  • 微显示制造（Mini/Micro-LED/硅基OLED）；
  • 铟镓锌氧化物有机发光二极管显示器（IGZO-OLED）制造；
  • 薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）制造，包括 TFT-Array 制程和 CF制程；
  • 扭曲/超扭曲向列型液晶显示器（TN/STN-LCD）制造；
  • 精细金属掩膜版（FMM）制造等领域。
主要应用领域